＜図書＞
Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California / Kevin M. Monahan, chairman/editor ; cooperating organizations, Optical Sciences Center/University of Arizona, Institute of Optics/University of Rochester
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 565)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Bellingham, Wash., USA : SPIE--International Society for Optical Engineering |
| 出版年 | 1985 |
| 大きさ | vi, 223 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 | pbk. | 549.8/Mi13 | 8901158850 |
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0892526009 |
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| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographies |
| 著者標目 | Monahan, Kevin M. University of Arizona. Optical Sciences Center University of Rochester. Institute of Optics Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Measurement -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
| 書誌ID | 2000062581 |
| ISBN | 0892526009 |
| NCID | BA24008190 |