＜図書＞
Microlithography : process technology for IC fabrication / David J. Elliott
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : McGraw-Hill |
| 出版年 | c1986 |
| 大きさ | xix, 378 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/E48 | 8901156920 |
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0070193045 |
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| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Elliott, David J. |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
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LCSH:Microlithography LCSH:Photoresists |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
| 書誌ID | 2000062392 |
| ISBN | 0070193045 |
| NCID | BA27657994 |