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<図書>
超微細加工入門 / 古川静二郎, 浅野種正共著
チョウビサイ カコウ ニュウモン

データ種別 図書
出版者 東京 : オーム社
出版年 1989.6
大きさ viii, 219p ; 22cm

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東京西 2F一般
532/F93 9001277988
4274032477

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本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ>
浅野, 種正(1953-) <アサノ, タネマサ>
件 名 BSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
書誌ID 2000031440
ISBN 4274032477
NCID BN03592433

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