<図書>
超微細加工入門 / 古川静二郎, 浅野種正共著
チョウビサイ カコウ ニュウモン
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : オーム社 |
出版年 | 1989.6 |
大きさ | viii, 219p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 |
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532/F93 | 9001277988 |
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4274032477 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 各章末: 参考文献 |
著者標目 | 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ> 浅野, 種正(1953-) <アサノ, タネマサ> |
件 名 | BSH:集積回路 |
分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 NDLC:ND386 |
書誌ID | 2000031440 |
ISBN | 4274032477 |
NCID | BN03592433 |