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<図書>
ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセス ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1997.6
大きさ x, 286p ; 22cm

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千住 一般
549.7/H31 9701567472
456303617X
東京西 2F一般
549.7/H31 9701557762
456303617X

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本文言語 日本語
一般注記 執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
著者標目 原, 央 <ハラ, ヒサシ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 2000066705
ISBN 456303617X
NCID BA30760470

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