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<図書>
超LSI材料・プロセスの基礎 / 岸野正剛著
チョウ LSI ザイリョウ プロセス ノ キソ

データ種別 図書
出版者 東京 : オーム社
出版年 1987.12
大きさ 226p ; 22cm

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東京西 2F一般
549.7/Ki58 8901042294
4274031853

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本文言語 日本語
一般注記 監修:伊藤良一
著者標目 岸野, 正剛 <キシノ, セイゴウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
書誌ID 2000068800
ISBN 4274031853
NCID BN01884879

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