＜図書＞
Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 68)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1986 |
| 大きさ | xvii, 463 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
|
427.6/P71 | 8901198666 |
|
|
|
書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes indexes |
| 著者標目 | Coburn, J. W., 1932- Gottscho, R. A. Hess, Dennis W. Materials Research Society Symposium on Plasma Processing (1986 : Palo Alto, Calif.) |
| 件 名 | LCSH:Plasma engineering -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TA2005 DC19:621.044 |
| 書誌ID | 2000037396 |
| ISBN | 0931837340 |
| NCID | BA00570669 |