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<図書>
Ellipsometry for industrial applications / Karl Riedling

データ種別 図書
出版者 Wien ; New York : Springer-Verlag
出版年 1988
大きさ xii, 99 p. : ill. ; 26 cm

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東京西 2F一般 : gw 413.57/R38 8901193717
321182040X

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本文言語 英語
一般注記 Bibliography: p.[91]-95
Includes index
著者標目 *Riedling, Karl, 1948-
件 名 LCSH:Thin films -- Measurement  全ての件名で検索
LCSH:Ellipsometry -- Industrial applications  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7872.T55
DC19:621.3815/2/0287
書誌ID 2000038138
ISBN 038782040X
NCID BA03686557

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