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<図書>
Polycrystalline silicon for integrated circuit applications / by Ted Kamins
(The Kluwer international series in engineering and computer science ; SECS 45)

データ種別 図書
出版者 Boston : Kluwer Academic Publishers
出版年 c1988
大きさ xii, 290 p. : ill. ; 24 cm

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千住 一般
549.8/Ka37 8901178056
0898382599

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本文言語 英語
一般注記 Bibliography: p. 249-280
Includes index
著者標目 *Kamins, Theodore I.
件 名 LCSH:Integrated circuits -- Materials  全ての件名で検索
LCSH:Silicon -- Electric properties  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7871.15.S55
DC19:621.381/71
書誌ID 2000062561
ISBN 0898382599
NCID BA04964371

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