＜図書＞
Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 71)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1986 |
| 大きさ | xvii, 535 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
|
549.9/Ma71 | 8901157902 |
|
0931837375 |
|
書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
| 著者標目 | Wittmer, Marc Stimmell, James Strathman, Michael Materials Research Society Symposium on "Materials Issues in Silicon Integrated Circuit Processing" (1986 : Palo Alto, Calif.) |
| 件 名 | LCSH:Microelectronics -- Materials -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/7 |
| 書誌ID | 2000062724 |
| ISBN | 0931837375 |
| NCID | BA03515168 |