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<図書>
CVDハンドブック / 化学工学会編集
CVD ハンドブック

データ種別 図書
出版者 東京 : 朝倉書店
出版年 1991.6
大きさ x, 800, 18p ; 22 cm

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東京西 2F参考
571/Ka16 9601549364
425425234X 禁帯出

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本文言語 日本語
一般注記 付表および索引: p[781]-800
著者標目 化学工学会 <カガク コウガッカイ>
件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC6:566.7
NDC8:571
書誌ID 2000065817
ISBN 425425234X
NCID BN06399804

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