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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2003.8
大きさ 232p : 挿図 ; 21cm

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東京西 2F一般
530/F67 0310671813
4769371179

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本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 藤田, 博之(1952-) <フジタ, ヒロユキ>
件 名 BSH:マイクロマシン
分 類 NDC8:530
NDC9:530
書誌ID 2000081367
ISBN 4769371179
NCID BA6332701X

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