＜雑誌＞
Microlithography world
| データ種別 | 雑誌 |
|---|---|
| 出版者 | Nashua, N.H. : Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE |
| 大きさ | v. : ill. ; 28 cm |
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所蔵巻号一覧
| 配架場所 | 巻号 | 年次/刊行日 | 登録番号 | 請求記号 | 状態 | コメント | 予約 | eDDS |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 製本(書庫) 3-5 1994-1996 | ||||||||
| 東京西 製本(書庫) | 3-5 | 1994-1996 | 9702078941 |
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| 本文言語 | 英語 |
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| 別書名 | 略タイトル:Microlithogr. world キータイトル:Microlithography world |
| 一般注記 | Description based on: Vol. 4, no. 4 (autumn 1995) Title from cover Began with: Vol. 1, no. 1 (Mar./Apr. 1992) A publication of: Solid state technology |
| 著者標目 | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Periodicals
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| 書誌ID | 3000000575 |
| ISSN | 1074407X |
| NCID | AA11051803 |