＜図書＞
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
プラズマ プロセシング ノ キソ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 電気書院 , 1985.11 |
| 大きさ | 13, 391p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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| 東京西 2F一般 |
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427.6/C33 | 9001268391 |
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4485661180 |
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| 研究室 |
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427.6/C33 | 9201384402 |
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4485661180 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 別書名 | 原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
| 一般注記 | Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386 |
| 著者標目 | Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ> |
| 件 名 | NDLSH:プラズマ |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
| 書誌ID | 2000012499 |
| ISBN | 4485661180 |
| NCID | BN00319697 |