＜図書＞
超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1983.9 |
| 大きさ | 6, 213p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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572.2/D59 | 9001267278 |
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4769310315 |
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