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<図書>
真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
シンクウ ジョウチャク

データ種別 図書
出版情報 東京 : アグネ , 1977.5
大きさ 144p ; 22cm

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東京西 2F一般
571.5/Sc3 8901038714
4750704091

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本文言語 日本語
別書名 原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
一般注記 文献:p139〜144
著者標目 Schiller, Siegfried, 1933-
Heisig, Ullrich, 1933-
日本真空技術株式会社 <ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ>
件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC6:549
NDLC:ND351
書誌ID 2000030850
ISBN 4750704091
NCID BN02783006

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