＜図書＞
High vacuum production in the microelectronics industry / Pierre Duval
(Plasma technology ; 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Amsterdam; Tokyo : Elsevier , 1988 |
| 大きさ | xiii, 222 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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427.6/D93 | 8901191612 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes index |
| 著者標目 | *Duval, Pierre |
| 件 名 | PRECIS:Microelectronics industries. Applications of vacuum technology |
| 分 類 | DC19:621.5/5 |
| 書誌ID | 2000038257 |
| ISBN | 044442878X |
| NCID | BA03949791 |