＜図書＞
Lasers in microlithography : 2-3 March 1987, Santa Clara, California / Daniel J. Ehrlich, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 774)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Bellingham, Wash., USA : The Society , c1987 |
| 大きさ | v, 192 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 | pbk. | 549.95/L33 | 8901215627 |
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0892528095 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Errata slip inserted Label on cover: Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao, John Samuel Batchelder, chairs/editors Includes bibliographical references and index |
| 著者標目 | Ehrlich, Daniel J. Tsao, Jeffrey Y. Batchelder, John Samuel Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses
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LCSH:Microlithography -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TA1673 DC20:621.381/531 |
| 書誌ID | 2000062846 |
| ISBN | 0892528095 |
| NCID | BA14030761 |