＜図書＞
Advances in resist technology and processing III : 10-11 March 1986, Santa Clara, California / C. Grant Willson, chairman/editor
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 631)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering , c1986 |
| 大きさ | vi, 346 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 1F一般 | : pbk. | 749.5/A16 | 8901178601 |
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0892526661 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 著者標目 | Willson, C. G. (C. Grant), 1939- Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
| 件 名 | LCSH:Photoresists -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TR940 DC19:686.2/325 |
| 書誌ID | 2000067871 |
| ISBN | 0892526661 |
| NCID | BA24022715 |