＜図書＞
はじめての半導体製造装置 / 前田和夫著
ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
(ビギナーズブックス ; 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1999.3 |
| 大きさ | 254p ; 21cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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| 千住 一般 |
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549.8/Ma26 | 9901595711 |
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4769311699 |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/Ma26 | 0240065771 |
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4769311699 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247 引用文献および資料: p248-250 |
| 著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 2000072274 |
| ISBN | 4769311699 |
| NCID | BA40473169 |