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<図書>
半導体製造の技術開発 / 坂野進〔ほか〕編集
ハンドウタイ セイゾウ ノ ギジュツ カイハツ
(品質工学応用講座)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 日本規格協会 , 1994.10
大きさ 366p ; 21cm

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千住 一般
549.8/Sa34 0540084480
4542511103

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本文言語 日本語
著者標目 坂野, 進(1942-) <サカノ, ススム>
件 名 BSH:半導体
BSH:品質管理
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 2000085329
ISBN 4542511103
NCID BN11659879

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