＜図書＞
Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications / by Arthur Sherman
(Materials science and process technology series)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1987 |
| 大きさ | xi, 215 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.9/Sh14 | 8901166978 |
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0815511361 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 著者標目 | *Sherman, Arthur |
| 件 名 | LCSH:Vapor-plating LCSH:Integrated circuits -- Design and construction 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TS695 DC19:621.381/7 |
| 書誌ID | 2000062717 |
| ISBN | 0815511361 |
| NCID | BA04523081 |