<図書>
Ion implantation, sputtering and their applications / by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley
データ種別 | 図書 |
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出版情報 | London ; New York : Academic Press , 1976 |
大きさ | ix, 333 p. : ill. ; 24 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 |
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427/To77 | 9704028191 |
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0126969507 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
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一般注記 | Includes bibliographies and index |
著者標目 | *Townsend, Peter David Kelly, J. C. (John Clive) joint author Hartley, W. N. joint author |
件 名 | LCSH:Ion implantation LCSH:Sputtering (Physics) |
分 類 | LCC:QC702.7.I55 DC:530.4/1 |
書誌ID | 2000066286 |
ISBN | 0126969507 |
NCID | BA07511624 |