＜図書＞
半導体イオン注入技術 / 蒲生健次編著
ハンドウタイ イオン チュウニュウ ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1986.7 |
| 大きさ | 212p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/G18 | 8901045016 |
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4782856245 |
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