<図書>
半導体エピタキシー技術 / 河東田隆著
ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1982.10 |
| 大きさ | vii, 193p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/Ka86 | 8901044985 |
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4782856229 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 各章末:参考文献 |
| 著者標目 | 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ> |
| 件 名 | NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 2000014185 |
| ISBN | 4782856229 |
| NCID | BN00813820 |
