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<図書>
半導体エピタキシー技術 / 河東田隆著
ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 産業図書 , 1982.10
大きさ vii, 193p ; 22cm

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東京西 2F一般
549.8/Ka86 8901044985
4782856229

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本文言語 日本語
一般注記 各章末:参考文献
著者標目 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000014185
ISBN 4782856229
NCID BN00813820

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