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<図書>
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1990.4
大きさ v, 117p ; 19cm

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千住 一般
431.86/N71/11 9201390953
4320085116
東京西 2F一般
431.86/N71/11 9101327931
4320085116

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本文言語 日本語
一般注記 文献: p[110]-113
著者標目 津田, 穣(1935-) <ツダ, ミノル>
件 名 BSH:集積回路
BSH:工業材料
BSH:薄膜
NDLSH:感光性樹脂
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC8:578.4
NDC7:549.8
NDLC:PA441
書誌ID 2000031928
ISBN 4320085116
NCID BN04656779

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