<図書>
VLSIプロセス装置ハンドブック / 前田和夫著
VLSI プロセス ソウチ ハンドブック
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1990.6 |
| 大きさ | xv, 607p : 挿図 ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
|
549.8/Ma26 | 9101332618 |
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4769310803 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | 2000019113 |
| ISBN | 4769310803 |
| NCID | BN04988291 |
