＜図書＞
スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2 |
| 大きさ | v, 172, viip ; 21cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
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549/Ko12 | 0540089356 |
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4526032735 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 著者標目 | 小林, 春洋(1925-) <コバヤシ, ハルヒロ> |
| 件 名 | BSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:549 |
| 書誌ID | 2000085954 |
| ISBN | 4526032735 |
| NCID | BN08694157 |