＜図書＞
シリコンウェーハ表面のクリーン化技術 / 柏木正弘, 服部毅編著
シリコン ウェーハ ヒョウメン ノ クリーンカ ギジュツ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : リアライズ社 , 1995.2 |
| 大きさ | 333, 8p ; 30cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
|
549.8/Ka77 | 9601531230 |
|
4947655755 |
|