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<図書>
シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修
シリコン ノ カガク
(Surface science technology series ; 3)

データ種別 図書
出版情報 東京 : リアライズ社 , 1996.6
大きさ 19, 1030, 16p ; 27cm

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千住 一般
549.8/U25 9601534788
4947655887

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本文言語 日本語
一般注記 編集委員会: 滝口蓮一ほか
執筆者: 大見忠弘ほか
参考文献: 各項末
著者標目 半導体基盤技術研究会 <ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ>
大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
新田, 雄久 <ニッタ, カツヒサ>
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 2000064260
ISBN 4947655887
NCID BN14827619

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