＜図書＞
半導体立国 : 製造装置の明日を語る / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ リッコク : セイゾウ ソウチ ノ アス オ カタル
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 日刊工業新聞社 , 1996.11 |
| 大きさ | xi, 258p ; 19cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
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549.8/N71 | 9801589848 |
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4526039373 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 監修:金山敏彦 |
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | 2000071408 |
| ISBN | 4526039373 |
| NCID | BN15450516 |