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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 超微細加工入門 / 古川静二郎, 浅野種正共著 A1 古川, 静二郎(1934-) A1 浅野, 種正(1953-) YR 1989 FD 1989.6 SP viii, 219p K1 集積回路 PB オーム社 PP 東京 SN 4274032477 LA Japanese (日本語) CL NDC8:549.7 CL NDC7:549.8 CL NDLC:ND386 NO 各章末: 参考文献 NO 書誌ID=2000031440; NCID=BN03592433; LK [OPAC]https://www.lib.ntu.ac.jp/opac/opac_link/bibid/2000031440 OL 58