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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著 T2 アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 A1 大見, 忠弘(1939-) YR 1995 FD 1995.12 SP xi, 366p K1 集積回路 K1 半導体 PB 培風館 PP 東京 SN 4563036153 LA Japanese (日本語) CL NDC8:549.7 CL NDC8:549.8 CL NDLC:ND371 NO 参考文献: 各章末 NO 書誌ID=2000060660; NCID=BN13643698; LK [OPAC]https://www.lib.ntu.ac.jp/opac/opac_link/bibid/2000060660 OL 58