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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 半導体のための真空技術入門 : 現場で役立つ基礎と応用 / 宇津木勝著 A1 宇津木, 勝 YR 2007 FD 2007.2 SP 219p K1 半導体 K1 真空技術 PB 工業調査会 PP 東京 SN 9784769312628 LA Japanese (日本語) CL NDC8:549.8 CL NDC9:549.8 NO 参考文献: p213 NO 書誌ID=4000002896; NCID=BA80963210; LK [OPAC]https://www.lib.ntu.ac.jp/opac/opac_link/bibid/4000002896 OL 58