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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著 T2 応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 A1 応用物理学会 A1 徳山, 巍(1929-) YR 1997 FD 1997.2 SP xiv,309p K1 ガラス K1 ガラス製品 K1 半導体 K1 集積回路 PB オーム社 PP 東京 SN 427402332X LA Japanese (日本語) CL NDC9:549.7 CL NDC8:573.5 CL NDC8:549.8 CL NDLC:PA241 NO 参考文献: 各章末 NO 索引: p[305]-309 NO 執筆: 徳山巍ほか NO 書誌ID=2000066007; NCID=BN15970232; LK [OPAC]https://www.lib.ntu.ac.jp/opac/opac_link/bibid/2000066007 OL 58