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検索キーワード:(著者名に左の語を含む: #大見 忠弘)
該当件数:2件
ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
東京 : 培風館 , 1995.12. - (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15)
図書
シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修
東京 : リアライズ社 , 1996.6. - (Surface science technology series ; 3)